第十三屆半導(dǎo)體器件與加工工藝論壇——新型半導(dǎo)體功能材料與器件及其異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)暨新型半導(dǎo)體功能材料與器件專項(xiàng)技術(shù)培訓(xùn)班由中國(guó)科學(xué)院人事局資助，中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所承辦，上海材料與制造大型儀器區(qū)域中心、蘇州納米科技發(fā)展有限公司和微組裝技術(shù)創(chuàng)新中心協(xié)辦，蔡司(ZEISS)贊助。該論壇作為第十五屆中國(guó)國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)關(guān)鍵技術(shù)論壇之一，于2024年10月22日至24日在蘇州國(guó)際博覽中心成功舉辦。

本次論壇邀請(qǐng)來(lái)自高校、研究所及企業(yè)專注于顯示技術(shù)方面的16位著名專家學(xué)者傳授相關(guān)專業(yè)知識(shí)，深入剖析新型顯示技術(shù)難點(diǎn)，分析相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)，進(jìn)行深入淺出的理論培訓(xùn)和技術(shù)研討。本次論壇由納米加工平臺(tái)曾中明主任，張曉東研究員和鞠濤高級(jí)工程師主持。張寶順研究員首先為論壇致辭，張老師表示當(dāng)今世界，正經(jīng)歷一場(chǎng)以智能化和信息化為核心的深刻變革，半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)無(wú)疑是這場(chǎng)變革的引擎與基石。而本屆論精準(zhǔn)地聚焦于“新型半導(dǎo)體功能材料與器件及其異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)”這一前沿主題，旨在匯聚該領(lǐng)域的頂尖智慧與前沿力量，搭建一個(gè)高水平、深層次、多維度的交流與合作平臺(tái)。

曾中明主持現(xiàn)場(chǎng)

張寶順研究員致辭

本次論壇共吸引來(lái)自北京大學(xué)、南京大學(xué)、西安交通大學(xué)、蘇州大學(xué)、電子科技大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、松山湖材料實(shí)驗(yàn)室，愛(ài)發(fā)科東方檢測(cè)技術(shù)有限公司等全國(guó)各地近100家企事業(yè)單位200余名專業(yè)技術(shù)人員、專業(yè)學(xué)者以及學(xué)生參加。

報(bào)告：硅基光電子及其應(yīng)用

周治平，北京大學(xué)教授，愛(ài)杰廣電創(chuàng)始人

報(bào)告：氮化鎵大功率太赫茲倍頻源

馮志紅，中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所研究員，首席科學(xué)家

報(bào)告：用于空間激光通信的MEMS快反鏡研制

謝會(huì)開(kāi)，北京理工大學(xué)教授，北京理工大學(xué)重慶微電子研究所院長(zhǎng)

報(bào)告：射頻微系統(tǒng)三維異構(gòu)集成技術(shù)

崔凱，微組裝技術(shù)創(chuàng)新中心副主任

報(bào)告：基于薄膜鈮酸鋰的電光和無(wú)源光集成器件

管小偉，浙江大學(xué)嘉興研究院研究員

報(bào)告：ZEISS顯微鏡在半導(dǎo)體領(lǐng)域的解決方案

邱婷婷，蔡司華東應(yīng)用經(jīng)理

張曉東研究員主持現(xiàn)場(chǎng)

報(bào)告：氮化鎵功率器件與異質(zhì)集成技術(shù)研究

張葦杭，西安電子科技大學(xué)教授、廣州第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心副主任

報(bào)告：氧化鎵異質(zhì)集成結(jié)構(gòu)與器件

葉建東，南京大學(xué)教授

報(bào)告：光電智能計(jì)算器件和技術(shù)

王健，華中科技大學(xué)教授，武漢光電國(guó)家研究中心副主任

報(bào)告：半導(dǎo)體界面的界面熱阻

程哲，北京大學(xué)研究員

鞠濤高級(jí)工程師主持現(xiàn)場(chǎng)

報(bào)告：大尺寸晶圓室溫臨時(shí)鍵合與精密減薄

萬(wàn)青，甬江實(shí)驗(yàn)室研究中心主任

報(bào)告：異質(zhì)集成材料與器件

游天桂，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員

報(bào)告：面向異質(zhì)異構(gòu)集成的銅銅低溫鍵合工藝開(kāi)發(fā)及其界面熱-力學(xué)特性建模仿真方法

馬盛林，廈門(mén)大學(xué)教授

報(bào)告：臨時(shí)鍵合技術(shù)在異質(zhì)異構(gòu)集成中的應(yīng)用和挑戰(zhàn)

張雷，蘇斯貿(mào)易(上海)有限公司涂膠和臨時(shí)鍵合技術(shù)產(chǎn)品經(jīng)理

報(bào)告：納米加工平臺(tái)與異構(gòu)集成技術(shù)開(kāi)發(fā)

鞠濤，中科院蘇州納米所納米加工平臺(tái)副主任，高級(jí)工程師

報(bào)告：蘇州工業(yè)園區(qū)納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況

錢清徐，蘇州納米科技發(fā)展有限公司招商部高級(jí)項(xiàng)目經(jīng)理

論壇現(xiàn)場(chǎng)專家們不僅全面分享了各自的研究成果和獨(dú)到見(jiàn)解，呈現(xiàn)了精彩紛呈的報(bào)告，還與參會(huì)者就新型顯示器件關(guān)鍵技術(shù)與工藝的發(fā)展趨勢(shì)、技術(shù)挑戰(zhàn)及市場(chǎng)機(jī)遇等議題展開(kāi)了深入交流。本次論壇為來(lái)自全國(guó)各地、專注于新型顯示領(lǐng)域的專家學(xué)者提供了一個(gè)寶貴的思想碰撞與交流平臺(tái)。

10月24日上午，部分與會(huì)人員參與了平臺(tái)組織的實(shí)地參觀活動(dòng)，前往蘇州納米所納米加工平臺(tái)以及蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司的MEMSRIGHT進(jìn)行了參觀和技術(shù)交流。在專業(yè)工作人員的細(xì)致講解和引導(dǎo)下，與會(huì)人員不僅近距離接觸到了先進(jìn)的制造設(shè)備和技術(shù)，還深入了解了這些技術(shù)在實(shí)際應(yīng)用中的重要價(jià)值和廣闊前景。

納米加工平臺(tái)

MEMS中試量產(chǎn)平臺(tái)

本屆半導(dǎo)體器件與加工工藝論壇為公益培訓(xùn)，該論壇持續(xù)十余年，致力于微納加工技術(shù)領(lǐng)域的人才培養(yǎng)和產(chǎn)學(xué)研結(jié)合。每年設(shè)定不同的主題方向，推動(dòng)微納技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展。

納米加工平臺(tái)是集微納加工、器件檢測(cè)及封裝于一體的公共開(kāi)放平臺(tái)。平臺(tái)擁有完備的技術(shù)設(shè)施和高水平的工藝服務(wù)，有力支撐了區(qū)域內(nèi)科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)的自主創(chuàng)新。同時(shí)，通過(guò)開(kāi)展納米技術(shù)相關(guān)培訓(xùn)，搭建了一個(gè)促進(jìn)納米技術(shù)人才交流與學(xué)習(xí)的平臺(tái)。

2025年10月27日